diondo dsubµは、材料の研究・解析過程における材料内部の三次元構造の解析を目的として開発された小型のサブミクロンCT装置です。サブミクロンの解像度検査により、三次元繊維強化材料または有機材料の高精細構造を検出できます。
 
                             
            | X線源 | X線管電圧:20-90kV 最大出力:8 W | 
|---|---|
| 検出器 | 400万ピクセルsCMOSChip、6.50μmピクセル解像度 | 
| 空間分解能 | 0.30μm | 0.56μm | 1.40μm | 
| 光学幾何倍率 | 20x | 10x | 4x | 
| CT撮影範囲 | 0.62mm | 1.20mm | 2.80mm | 
| 拡張撮影範囲 | 1.10mm | 2.10mm | 5.00mm | 
| 装置寸法 | W1170 × D645 × H1615mm | 
| 装置重量 | 890kg | 
| マニピュレータ | 花崗岩ベース、6軸リニアシャフトシステムと高精度エアフローティングターンテーブル |